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高纯氦气价格用于 二氧化硅的 化学气相沉积；作为氧化源与产生 高纯水的反应剂；干法氧化；与 四氟化碳混合，用于等离子刻蚀。高纯氦气价格的主要用途源于它能维持生命和助燃性质；在 冶金工业中有广泛应用。还可用于水质处理。

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高纯氦气稳定,一般不生成化合物,在低压放电管中受激发可形成He +2 、HeH等离子及分子。在特定条件下和某些金属可形成化合物。

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气体管道高纯氦气价格的检漏方法：

1、阀座检漏法应采用阀门上游充氦气，下游抽真空的方法检漏。

2、外向检漏法（吸法）应采用在高纯气体管道内部充氦气或氦氮混合气，外部用吸检查可能泄漏点的方法检漏。

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1、氦检漏仪表应采用质谱型氦检测仪，其检测精度不得低于1

2、高纯气体氦检漏的泄漏率应符合下列要求：

内向检漏法测定的泄漏率不得大于1*10-9mbar. l/s；

阀座检漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar. l/s；

外向检漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar. l/s

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